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選用(yong)真空泵時，需要注意下列事項：

　　1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10^-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10^-6mmHg。通常選擇(ze)泵(beng)的真(zhen)空度要高于真(zhen)空設備(bei)真(zhen)空度半個到一個數(shu)量(liang)級。

　　2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10^-3~10^-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩定的工作壓強范圍為5×10^-4~5×10^-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10^-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10^-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10^-5mmHg為好。

 　　3、真(zhen)空泵在其工作(zuo)壓強下，應能排走真(zhen)空設備工藝過程中產生的全部氣(qi)體量。

　　4、正確地組合真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)。由(you)于(yu)真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)有(you)選(xuan)擇性(xing)抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)，因而，有(you)時選(xuan)用一(yi)種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)不(bu)能滿(man)足(zu)抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)要(yao)(yao)(yao)求，需(xu)要(yao)(yao)(yao)幾(ji)種(zhong)泵(beng)(beng)(beng)組合起來(lai)，互相補充才能滿(man)足(zu)抽(chou)(chou)氣(qi)(qi)要(yao)(yao)(yao)求。如鈦升華泵(beng)(beng)(beng)對氫有(you)很高的(de)(de)抽(chou)(chou)速(su)，但不(bu)能抽(chou)(chou)氦，而三極型(xing)濺(jian)射離(li)子泵(beng)(beng)(beng)，（或(huo)二極型(xing)非對稱陰極濺(jian)射離(li)子泵(beng)(beng)(beng)）對氬有(you)一(yi)定(ding)的(de)(de)抽(chou)(chou)速(su)，兩者組合起來(lai)，便會使(shi)真(zhen)空裝(zhuang)置得到(dao)較好的(de)(de)真(zhen)空度。另外，有(you)的(de)(de)真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)不(bu)能在大氣(qi)(qi)壓下工作，需(xu)要(yao)(yao)(yao)預(yu)真(zhen)空；有(you)的(de)(de)真(zhen)空泵(beng)(beng)(beng)出口壓強低于(yu)大氣(qi)(qi)壓，需(xu)要(yao)(yao)(yao)前級泵(beng)(beng)(beng)，故都需(xu)要(yao)(yao)(yao)把泵(beng)(beng)(beng)組合起來(lai)使(shi)用。

　　5、真空設備(bei)(bei)對油(you)污(wu)染的要求(qiu)(qiu)。若(ruo)設備(bei)(bei)嚴(yan)格要求(qiu)(qiu)無油(you)時，應該選各(ge)種無油(you)泵(beng)(beng)，如(ru)：水(shui)環泵(beng)(beng)、分子篩吸(xi)附泵(beng)(beng)、濺射離子泵(beng)(beng)、低(di)溫泵(beng)(beng)等。如(ru)果(guo)要求(qiu)(qiu)不嚴(yan)格，可(ke)以選擇有油(you)泵(beng)(beng)，加上一些防油(you)污(wu)染措施，如(ru)加冷(leng)阱、障(zhang)板、擋油(you)阱等，也能達到清潔真空要求(qiu)(qiu)。

　　6、了解被抽氣(qi)(qi)(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)，氣(qi)(qi)(qi)體(ti)中含不(bu)含可凝蒸氣(qi)(qi)(qi)，有(you)無顆粒(li)灰塵(chen)，有(you)無腐蝕(shi)性(xing)等。選擇(ze)真空(kong)泵(beng)時，需(xu)要知道(dao)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)成(cheng)分(fen)，針(zhen)對(dui)被抽氣(qi)(qi)(qi)體(ti)選擇(ze)相應(ying)的泵(beng)。如(ru)果氣(qi)(qi)(qi)體(ti)中含有(you)蒸氣(qi)(qi)(qi)、顆粒(li)、及腐蝕(shi)性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)，應(ying)該(gai)考慮在(zai)泵(beng)的進氣(qi)(qi)(qi)口管路上安(an)裝輔助設備，如(ru)冷凝器(qi)、除塵(chen)器(qi)等。

　　7、真(zhen)空泵(beng)排出來的油(you)(you)蒸氣對(dui)環境的影響如何。如果環境不(bu)允許有污染，可以選(xuan)無油(you)(you)真(zhen)空泵(beng)，或者把油(you)(you)蒸氣排到室外。

　　8、真空(kong)泵(beng)工(gong)(gong)作時產生的(de)振動(dong)對工(gong)(gong)藝過(guo)(guo)程(cheng)及環(huan)境有無(wu)影響。若工(gong)(gong)藝過(guo)(guo)程(cheng)不允(yun)許，應(ying)選擇無(wu)振動(dong)的(de)泵(beng)或者采取防振動(dong)措施。

　　9、真空泵的(de)價格、運(yun)轉及維(wei)修費用。