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真空泵工作原理
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1、玻義爾定律
體(ti)積(ji)V，壓(ya)強P，P·V＝常數
一定質量(liang)的(de)(de)氣體(ti)，當(dang)溫度不變(bian)時，氣體(ti)的(de)(de)壓(ya)強與氣體(ti)的(de)(de)體(ti)積成反(fan)比。
即P1/P2＝V2/V1
2、蓋·呂薩克定律
當壓強P不變時，一定質量的(de)氣體(ti)，其體(ti)積(ji)V與(yu)絕對(dui)溫(wen)度T成正比：
V1/V2＝T1/T2＝常數
當(dang)壓強不(bu)變時，一定質(zhi)量(liang)的氣體，溫(wen)度每升高(或P降低)1℃，則它的體積比原來增(zeng)加(或縮小)1/273。
3、查理定律
當氣體的體積V保持不(bu)變，一定質量的氣體，壓強P與(yu)其絕對溫度T成正比，即：
P1/P2＝T1/T2
在一定的(de)體(ti)積下，一定質量的(de)氣(qi)體(ti)，溫度每升高(或(huo)降低)1℃，它的(de)壓(ya)強(qiang)比原(yuan)來(lai)增加(或(huo)減少)1/273。
4、平均自由程：
λ＝(5×10-3)/P (cm)
5、抽速：
6、通導： C＝Q/(P2-P1) (升/秒(miao))
7、真空抽氣時間：
8、維持泵選擇：
9、擴散泵抽速估算：
10、羅茨泵的前級抽速：
11、漏率：
12、粗抽泵的抽速選擇：
13、前級泵抽速選擇：
排(pai)氣口壓力(li)低于(yu)一個大(da)氣壓的傳輸泵如擴(kuo)散(san)泵、油增壓泵、羅(luo)茨泵、渦輪分子泵等(deng)，它們工作時需要前級(ji)泵來維(wei)持其前級(ji)壓力(li)低于(yu)臨界(jie)值，選用(yong)的前級(ji)泵必須能(neng)將主泵的最大(da)氣體量排(pai)走，根據管(guan)路中，各截面流量恒等(deng)的原則有(you)：
14、擴散泵抽速計算公式：
15、旋片真空泵的幾何抽速計算公式：
16、O型橡膠槽深B＝0.7D
17、方形橡膠槽深B＝0.8A
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